用於氣體應用的EL-FLOW®Classic系列質量流量控制器具有專為實驗室和清潔加工條件設計的外殼。這些儀器設計用於測量和控制操作壓力介於大氣壓和30 bar(g)之間下的氣流，氣流範圍介於在0.16 ... 8 sccm和0.4 ... 20 slm之間。整合控制閥確保極其快速和平穩的控制。

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https://www.bronkhorst.co.uk/files/downloads/brochures/el-flow_classic.pdf