泵組件產生增加去除器負載所需的額外流量。使用泵和質量流量計的閉環控制器可確保精確的流量。在分析階段使用相同的泵和MFM組合以產生解吸所需的零空氣。泵組件還在CLEAN和CALIBRATION循環期間提供儀器所需的零空氣，因此無需單獨的加壓零氣缸和調節器。

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